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芯片制造關鍵設備再突破：離子注入機實現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化

2021-03-17 12:01:07來源：互聯(lián)網(wǎng)
中國電子科技集團有限公司17日對外公布，該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術，已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，為我國芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈補上重要一環(huán)，為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。
（原題為《芯片制造關鍵設備再突破！離子注入機實現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化》）

關鍵詞： 芯片 制造 關鍵 設備

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