研究機構 TECHCET 日前發布報告，預測 2022 年全球電子氣體市場規模將達到約 68 億美元，同比增速達到 8%，并預計到 2026 年，電子氣體市場規模將達到每年 90 億美元。

TECHCET 稱，市場增長動能主要源于特種氣體，先進制程邏輯、存儲產品工藝復雜，工序增加，帶動刻蝕氣、光刻氣等各類特種氣體需求，預計這一細分市場增速今年將達到 10%。

TECHCET 警告稱，在供應方面，除氖氣外，氦氣也正遭受俄烏沖突影響，加之其他產區的生產、儲運問題，使供應鏈進一步繃緊。

展望未來數年，隨著全球新建晶圓產能陸續開出，三氟化氮 (NF3)、六氟化鎢 (WF6) 、乙硼烷 (B2H6) 等關鍵氣體供需也將隨之緊張，TECHCET 特別指出，用于工藝腔室清潔的 NF3 可能出現供不應求。

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